Kütle akış ölçer, termal ölçümü uygular ve alınan moleküllerin kütlesini ölçerek akışı ölçer. Termal ölçüm nedeniyle sonuç, gazın sıcaklık ve basınç değişikliklerinden etkilenmeyecektir. Doğru, hızlı, güvenilir, verimli, kararlı ve esnek bir akış ölçüm cihazı olan kütle akış ölçer, petrol işleme ve kimya endüstrisi alanlarında yaygın olarak kullanılacaktır. Akış ölçümünü teşvik etmede büyük potansiyele sahiptir. Kütle akış ölçer, akışı kontrol edemez, ancak analog voltaj, akım veya seri iletişim yoluyla akış değeri çıkışı ile sıvı veya gazın kütle akışını algılar.
Bununla birlikte, kütle akış kontrolörü, akışı algılayabilen ve aynı zamanda kontrol edebilen bir araçtır. Kütle akış kontrol cihazının kendisi, ölçüm kısmına ek olarak bir elektromanyetik ayar vanasına veya bir piezoelektrik vanaya sahiptir, böylece kütle akışını kontrol etmesini sağlayan kapalı bir döngü sistemi oluşturulur. Bir kütle akış kontrolörünün ayar değeri, analog voltaj, analog akım veya bilgisayar ve PLC tarafından sağlanabilir.
Termal kütle debimetre, Basınçlı hava debimetre , O2, Ar, N2, CO2, He （helyum） gaz debimetre CO2 gaz debimetre, biyogaz debimetre vb. Olarak kullanılabilir.
