SCCM akış ölçer, gaz akışını küçük miktarlarda ve düşük basınçlarda ölçer. Çiplere kimyasal madde koymak, tasarım yapmak veya gazla temizlik yapmak gibi işler için gaz akışını kontrol etmenin çok önemli olduğu bilgisayar çipleri yapımı gibi endüstrilerde önemlidir.

Bir tür SCCM akış ölçere mikro Termal Kütle Akış Ölçer adı verilir. Bir gazın sıcak bir sensörü nasıl soğuttuğunu görerek çalışır. Ne kadar soğursa gaz o kadar hızlı akar.

SCCM akış ölçerlerin gerçekten doğru, duyarlı ve küçük gaz akışlarını yönetmede iyi olması gerekir. Bu, gaz akışındaki küçük bir değişikliğin bile bilgisayar çipleri veya ilaç gibi malzemelerin yapımını bozabileceği yerlerde çok önemlidir.

Bu nedenle, SCCM akış ölçerler, gaz akışının hassas kontrolüne ihtiyaç duyan endüstrilerde her şeyin yolunda gitmesini sağlamak için gerçekten önemli araçlardır. Çok az miktarda gazla çalışırken bile her şeyin yolunda kalmasını sağlarlar.