Küçük Coriolis debimetre nedir? Geleneksel Coriolis debimetreler, 50Mt/h, 100 Mt/h veya daha yüksek gibi büyük debi ölçümleri için kullanılır. . SH-CMF-FE, Coriolis akış teknolojisini başarıyla uyguluyor...
Düşük akışlı kütle akış ölçer ve akış kontrolörü, hava, biyogaz, doğal gaz, N2, O2, CO2, vb. için 2 sccm (2 ml/dak) kadar düşük gaz ultra düşük oranını ölçebilir.
SCCM akış ölçer, gaz akışını küçük miktarlarda ve düşük basınçlarda ölçer. Çiplere kimyasal madde koymak, tasarım yapmak veya gazla temizlik yapmak gibi işler için gaz akışını kontrol etmenin çok önemli olduğu bilgisayar çipleri yapımı gibi endüstrilerde önemlidir.
SCCM akış ölçer/akış denetleyicisinin bir türü, mikro Termal Kütle Akış Ölçer/akış denetleyicisi olarak adlandırılır. Bir gazın sıcak bir sensörü nasıl soğuttuğunu görerek çalışır. Ne kadar soğursa gaz o kadar hızlı akar.
SCCM akış ölçerlerin gerçekten doğru, duyarlı ve küçük gaz akışlarını yönetmede iyi olması gerekir. Bu, gaz akışındaki küçük bir değişikliğin bile bilgisayar çipleri veya ilaç gibi malzemelerin yapımını bozabileceği yerlerde çok önemlidir.
Dolayısıyla SCCM akış ölçerler, gaz akışının hassas kontrolüne ihtiyaç duyan endüstrilerde her şeyin yolunda gitmesini sağlamak için gerçekten önemli araçlardır. Çok az miktarda gazla çalışırken bile her şeyin yolunda kalmasını sağlarlar.