SRK-DL Serisi düşük akışlı kütlesel akış ölçer ve akış kontrolörü, 2 sccm (2 ml/dak) kadar düşük ultra düşük gaz oranını ölçebilir. Ultra düşük akış ölçer, gaz kromatografisi, gaz analizi, laboratuvar araştırmaları ve hassas gaz akış ölçümlerinin gerekli olduğu endüstriyel prosesler gibi çeşitli uygulamalarda yaygın olarak kullanılır, oksijen düşük akış ölçer, düşük akış hızlı hava akış ölçer, akış ölçer olarak kullanılabilir. Azot (N2) düşük akış uygulamaları için sayaçlar, biyogaz çok düşük akış ölçer, CO2 için ultra düşük akış ölçer vb.
Düşük akışlı termal gaz akış ölçer/ akış kontrolörü Çalışma Prensibi
Düşük akış oranlı kütle akış kontrolörü, bir düşük akış kütle akış sensöründen, bir laminer akış katmanlama cihazından, bir akış kontrolör ayar valfinden ve bir amplifikasyon kontrol devresinden oluşur. Ölçülen kılcal duvarın sıcaklık dağılımını değiştirmek için akan sıvının ısı transferi dağıtım etkisi kullanılarak yapılır.
Bu düşük akışlı kütle akış kontrolörü, sıcaklık ve basınçtan bağımsız olarak 2 sccm kadar düşük gaz kütle akışını ölçmek için kılcal ısı transferinden önce ve sonra diferansiyel sıcaklık kalorimetresi prensibini kullanır. Sensör tarafından ölçülen akış sinyalini yükseltin ve ardından ayarlanan voltajla karşılaştırın. Kontrol ayar vanasını çalıştırmak için farkı kullanın ve akışı ayarlanan akışa eşitlemek için kanal boyunca akışı kapalı devre kontrol edin.
Düşük akış debimetresi/ akış kontrolörü özellikleri
- Gaz Akışı Aralığı: 2 SCCM~ 30 SL/M, örneğin 100 ml/dk, 200 sccm,1 LPM, 2 SLM,5 litre/dakika,20 SLPM .
- Kısma Oranı: dijital kütle akış kontrolörü için 50:1; Dijital kütle akış ölçer için 100:1;
- Kesinlik : ± %1 FS
- doğrusallık : ± %0,5 FS
- Tekrarlanabilirlik:± %0,2 FS
- Tepki Süresi: kütle akış kontrolörü < 2s; kütle akış ölçer <0.8s
- Haberleşme: RS232/485.MODBUS
- Çıkış: 0~5V,4-20mA,1-5V
- Güç kaynağı : ±15VDC,24VDC
- Çalışma Sıcaklığı: 0~50°C
- Maksimum çalışma basıncı: 3MPa/10MPa
- Kütle akış sensörü veya akış kontrol malzemesi : Paslanmaz çelik
- Düşük debi ölçer proses bağlantısı: Φ3, Φ6, 1/8”, 1/4”
