Düşük akışlı kütle akış ölçer

İçindekiler Tablosu
Düşük akışlı kütle akış ölçer nedir?
Düşük akışlı kütle akış ölçerler, küçük akışın doğru bir şekilde ölçülmesinin hayati önem taşıdığı birçok uygulamada önemlidir
Düşük akışlı Coriolis kütle akış ölçer
Düşük akışlı Coriolis akış ölçerin yapısı
Ultra düşük kütle akış ölçümü için tasarlanmış küçük Coriolis akış ölçerlerin temel özellikleri
Mikro Coriolis akış ölçerin ana ekranı
Düşük akışlı Coriolis kütle akış ölçeri takarken önemli hususlar
Düşük akışlı termal kütle akış ölçer
Düşük akışlı termal kütle akış ölçer nasıl çalışır?
Düşük debili termal kütle akış ölçer hangi uygulamalarda kullanılır?
Düşük akışlı termal kütle akış ölçerin teknik özellikleri

Düşük akışlı kütle akış ölçer nedir?

Düşük akışlı kütle akış ölçer, bir sistem içinde hareket ederken çok küçük miktarlarda sıvı veya gazları ölçmek için kullanılan özel bir cihazdır. Bu ölçerler, saatte gram veya saatte kilogram kadar düşük akış hızlarını doğru bir şekilde ölçmek için özel olarak üretilmiştir.

Bu kadar düşük akış hızlarında hassas ölçümler sağlamak için düşük akışlı akış ölçerler çeşitli teknolojiler kullanır. Bu ölçerlerin yaygın türleri arasında küçük akışlar için pozitif deplasmanlı akış ölçerler, küçük termal kütle akış ölçerler veya son derece düşük kütle akışları için mini Coriolis akış ölçerler bulunur.

Düşük akışlı kütle akış ölçerler, küçük akışların doğru bir şekilde ölçülmesinin hayati önem taşıdığı birçok uygulamada önemlidir:

• 1. İlaç araştırma ve geliştirmesinde, ilaç veya kimyasalların hassas bir şekilde dozlanması ve dağıtılmasına yardımcı olurlar.
• 2. Biyomedikal analizlerde kullanılan mikroakışkan sistemlerde, çip üstü laboratuvar cihazlarında veya mikroreaktörlerde.
• 3. Yakıt hücrelerinin test edilmesinde, proseste kullanılan gazların akış hızlarının ölçülmesinde.
• 4. Hava kalitesi izleme veya emisyon testi gibi çevresel izleme sistemlerinde.
• 5. Kromatografi sistemleri veya spektrometreler gibi analitik cihazlarda.

Düşük akışlı Coriolis kütle akış ölçer

SH-CMF-FE serisi mikro Coriolis akış ölçerler, özellikle son derece düşük kütle akış hızlarını ölçmek için kullanışlıdır. Titreşimli bir tüpten geçen akışın neden olduğu küçük sapmaları algılayarak çalışırlar. Bu sapmalar doğrudan kütle akış hızıyla ilişkilidir ve ölçümde doğruluk sağlar.

Coriolis Kütle Akış Kontrolörü, akışkan ortam kütle akışının doğru ölçümü ve hassas kontrolü konusunda mükemmeldir ve bu da onu birçok endüstride vazgeçilmez kılar. Yarı iletken ve entegre devre sektörleri, özel malzeme alanları, kimya ve petrol endüstrileri, ilaç üretimi, çevre koruma ve vakum teknolojileri içinde bilimsel araştırma ve üretimde kritik bir rol oynar.

Bu akış cihazı, difüzyon sistemleri, epitaksi prosesleri, kimyasal buhar biriktirme (CVD), oksidasyon, plazma aşındırma, püskürtme ve iyon implantasyonu dahil olmak üzere elektronik proses ekipmanlarında özellikle hayati öneme sahiptir. Ek olarak, kaplama ekipmanlarında, optik fiber eritme proseslerinde, mikro reaktörlerde, gaz karıştırma ve dağıtım sistemlerinde, kılcal ölçümlerde ve gaz kromatografisi gibi analitik cihazlarda yaygın olarak kullanılır.

Düşük akışlı Coriolis akış ölçerin yapısı

Küçük Coriolis akış ölçer birincil bileşen ve ikincil bileşenden oluşur.
Sistemin birincil bileşeni, Coriolis Etkisi'ne dayanan konum duyarlı bir rezonans cihazı olan kütle akış sensörüdür. Sensör, titreşimli bir tüp (ölçüm tüpü olarak da bilinir), bir sinyal dedektörü, bir titreşim sürücüsü, bir destek yapısı ve muhafazadan oluşur.

Titreşimli tüp, sıvının içinden aktığı salınımlı kanaldır. Coriolis etkisini izlemek için kritik öneme sahip olan sinyal dedektörleri iki ana tipte gelir: fotoelektrik dedektörler ve elektromanyetik dedektörler.

Titreşim sürücüsü, titreşen tüpte salınımları başlatmaktan sorumludur. Sinyal dedektörü ve bir amplifikasyon işleme devresi ile birlikte, pozitif geri beslemeli kendi kendine uyarılan bir salınım sistemi oluşturur.

Genellikle paslanmaz çelikten dökülen destek yapısı, titreşimli boruyu sabitler ve montaj flanşına bağlayarak birleşik bir düzenek oluşturur. Muhafaza, titreşimli boru, sinyal dedektörü ve titreşim sürücüsü için koruma sağlar. Çoğu akış sensörü tek katmanlı bir muhafazaya sahiptir, ancak özel uygulamalarda çift katmanlı koruma kullanılabilir.

İkincil bileşen, mikroişlemci merkezli elektronik bir sistem olan kütle akış vericisidir. Akış sensörüne güç sağlar ve sinyallerini kütle akışına ve diğer ilgili parametre okumalarına dönüştürür. Düşük akış vericisi ayrıca sıcaklık parametrelerine dayalı kütle akışı ve yoğunluk ölçümlerini telafi eder ve düzeltir. Genellikle standart akım veya frekans sinyalleri çıkarır ve belirli iletişim protokolleri aracılığıyla bir ana bilgisayar veya DCS sistemiyle çapraz bağlantı ve uzaktan iletişimi destekler. Mini Coriolis akış vericisinin ekran paneli, çeşitli gerekli parametreleri gösterecek şekilde yapılandırılabilir.

Ultra düşük kütle akış ölçümü için tasarlanmış küçük Coriolis akış ölçerlerin temel özellikleri

- Çok küçük akışları ölçerken bile yüksek doğruluk sağlarlar; sıvı ölçümünde %0,25, gaz ölçümünde ise %0,5 gibi düşük doğruluk seviyelerine ulaşırlar.
- 100:1'e kadar yüksek bir turn-down oranı sunarak geniş bir akış hızı aralığında doğru ölçüm yapılmasına olanak tanırlar.
- Küçük kütle akış ölçerler saatte 40 gram kadar düşük kütle akışlarını tespit edebilir.
- 316L paslanmaz çelik gibi dayanıklı malzemelerden üretilmiştir.
- Mikro kütle akış ölçerler 0-10 kg/saatten başlayarak 0-1000 kg/saat'e kadar çeşitli ölçüm aralıklarında gelir.
- Bazı modellerde akış düzenlemesi için entegre PID kontrolörleri bulunur.
- Düşük akışlı kütle akış ölçerler 0-5V DC, 4-20mA veya 1-5V DC gibi dijital çıkış seçenekleri sunar ve RS485 veya RS232 gibi haberleşme protokollerini destekler.
- Bazı modeller 150°C'ye kadar yüksek sıcaklıklara dayanabilir.
- Hafif, kompakt ve dar alanlara veya taşınabilir sistemlere kolayca monte edilebilecek şekilde tasarlanmıştır.
- DB9, RJ11 veya 5.5×2.1 gibi çeşitli elektrik bağlantı seçenekleri sunar ve ±15VDC veya 24VDC ile çalıştırılabilir.
- Genellikle 435 psi standart basınç değerine sahiptirler ve maksimum basınç kapasitesi 100 bara kadar çıkabilir.

Mikro Coriolis akış ölçerin ana ekranı

Düşük akışlı Coriolis kütle akış ölçeri takarken önemli hususlar

1 Filtre Ekleme
Kullanılan gazın saflaştırıldığından ve toz, sıvı ve yağ ile kirlenmediğinden emin olun. Gerekirse, küçük Coriolis akış ölçerin önüne bir filtre takın. Akış ölçerin çıkışına bir sıvı kaynağı şişesi bağlarken, akış ölçere zarar verebilecek sıvı geri akışını önlemek için çıkışa tek yönlü bir vana takılmalıdır.

2 Aşındırıcı Gazların Kullanımı
Küçük kütle akış ölçer kanalı, SUS 316L (00Cr17Ni14Mo2), SUS 417J1 (00Cr30Mo2) ve floro kauçuk gibi korozyona dayanıklı malzemelerden yapılmıştır. Bu malzemeler, kullanıcının sistemi buhar ve sudan arındırılmış, düşük sızıntılı, sık sık temizlenmiş ve düzgün bir şekilde kullanılmışsa genel aşındırıcı ortamlarla başa çıkabilir. Uygulama son derece aşındırıcı veya organik çözücü gazları içeriyorsa, sipariş sırasında bu belirtilmelidir. Özel aşındırıcı gazlar için, tüm sızdırmazlık malzemeleri uygun şekilde ayarlanmalıdır.

3 Kurulum Yeri
Optimum performans için, küçük Coriolis akış kontrol cihazını montaj yüzeyi yatay konumda olacak şekilde takın. Ancak, küçük akış ölçüm cihazı konumlandırmaya karşı aşırı hassas değildir ve herhangi bir yönelimde takılabilir. Yatay olmayan bir konumda takıldığında sıfır kayması gözlemlenirse, çalıştırmadan önce ayarlanabilir.

4 Valf Portu Sızdırmazlığı
Küçük akış kütle akış kontrolöründeki solenoid vanası bir düzenleme vanası olarak işlev görür ve bir kapatma vanası olarak kullanılmamalıdır. Kullanıcılar, özellikle aşındırıcı gazlarla uğraşırken, güvenli çalışmayı sağlamak için kütle akış kontrolörünün hem girişine hem de çıkışına ayrı bir kapatma vanası takmalıdır. Uzun süreli kullanımdan sonra, vana bağlantı noktasında tam ölçeğin (FS) %2'si içindeki bir sızıntı oranı normal kabul edilir. Sızıntı %2'yi aşarsa, onarımlar gereklidir.

5 Kalibrasyonlar ve Gaz Dönüşümü
Küçük akışlı kütle akış kontrolörü genellikle fabrikada nitrojen (N2) ile kalibre edilir. Farklı bir gazla kalibrasyon gerekiyorsa, sipariş verirken bu belirtilmelidir. Kontrolörü nitrojen dışındaki gazlarla çalıştıran kullanıcılar için, dönüşümler sağlanan dönüşüm katsayıları kullanılarak yapılabilir.

Düşük akışlı termal kütle akış ölçer

Düşük akışlı termal kütle akış ölçer nasıl çalışır?

SRK serisi düşük akışlı kütle akış ölçerlerin olağanüstü doğruluğu, dayanıklılığı ve güvenilirliği, yenilikçi sensör problarımıza atfedilir. Her kapalı prob, sıcaklık ve basınçtaki herhangi bir değişimi otomatik olarak telafi etmek için birlikte çalışan bir hız sensörü ve bir sıcaklık sensörü olmak üzere iki kritik algılama elemanı içerir.
Sistem, hız sensörünü gaz sıcaklığının üzerinde sabit bir sıcaklıkta tutarak, gaz akışının soğutma etkisini ölçerek çalışır. Daha sonra gazın kütle akışı, bu sabit sıcaklık farkını korumak için gereken elektrik gücüne göre, akış hızıyla doğru orantılı olarak hesaplanır. Her iki sensör de, gelişmiş güvenilirlik için sağlam bir seramik çekirdeğin etrafına sıkıca sarılmış platin RTD teliyle standart platin dirençli sıcaklık dedektörlerini (RTD) kullanır. Tüm sensör düzeneği, uzun vadeli dayanıklılık ve koruma sağlayan 316 paslanmaz çelik bir muhafazaya yerleştirilmiştir.

Düşük debili termal kütle akış ölçer hangi uygulamalarda kullanılır?

Düşük akışlı termal kütle akış ölçerler, öncelikle saf gazların veya karışık gazların akışını ölçmek için kullanılır. Bu ölçerler, hava, nitrojen, hidrojen, oksijen, biyogaz, LPG, metan ve karbondioksit gibi çeşitli gazların kütle akış hızını izlemede oldukça etkilidir. Genellikle laboratuvar araştırmaları, endüstriyel gaz tedarik sistemleri, çevresel izleme, gaz kaçağı tespiti ve yarı iletken üretimi gibi hassas gaz akış ölçümünün kritik olduğu uygulamalarda kullanılırlar.

Bu mikro gaz akış ölçerler, geleneksel akış ölçüm teknolojilerinin zorlanabileceği düşük gaz akışlarının doğru bir şekilde ölçülmesinin gerektiği durumlarda özellikle değerlidir. Sıcaklık veya basınç telafisi ihtiyacı olmadan doğrudan kütle akış okumaları sağlama yetenekleri, bunları temiz oda ortamlarında, gaz kromatografisinde ve sızıntı tespit sistemlerinde ve ayrıca kimyasal ve ilaç endüstrileri için proses kontrolünde kullanım için ideal hale getirir.

Düşük akışlı termal kütle akış ölçerin teknik özellikleri

Düşük akışlı termal kütle akış ölçer , 2 SCCM ila 30 SL/M aralığında hassas gaz ölçümü sunar ve ±1% FS doğruluğu ve 100:1'lik bir azaltma oranına sahiptir. 0,8 saniyeden daha kısa bir tepki süresi ve ±0,2% FS'lik mükemmel tekrarlanabilirlik ile bu ölçer, güvenilir ve tutarlı bir performans sağlar.

0~50°C sıcaklık aralığında etkili bir şekilde çalışır ve 10 MPa'ya kadar maksimum çalışma basıncını kaldırabilir. Ünite, dayanıklılık için Viton, neopren veya nitril kauçuktan yapılmış contalara sahip, taban malzemesi olarak sağlam paslanmaz çelikten yapılmıştır.

İletişim seçenekleri arasında 0~5V, 4-20mA ve 1-5V çıkış sinyalleriyle RS232/485.MODBUS bulunur. Debimetre ±15VDC veya 24VDC ile çalışır ve ±0.025%FS/°C sıcaklık katsayısına sahiptir. Elektriksel arayüz bir DB15 konnektörü aracılığıyla sağlanır ve ünite 1×10^-9 SCCS He sızıntı oranına sahiptir ve zorlu uygulamalarda yüksek bütünlük sağlar.